真空退火爐，真空回火爐，真空淬火爐，他們都叫真空熱處理爐。真空退火的工藝跟真空回火的工藝是可以在同一臺真空爐上做到的。真空退火爐和真空回火爐通常稱作真空箱式爐或真空箱式氣氛爐。

真空淬火工藝須要到專用的真空淬火爐上去做。標準的真空箱式爐具有密封性能好，可以做到真空或充入惰性氣體，在爐內退火、回火的材料不會氧化。真空箱式爐也可以做普通的淬火，但與普通淬火爐一樣會正常的氧化。如果要做到淬火不會氧化，那么要用到真空淬火爐。真空箱式爐和真空淬火爐由于他們的結構不一樣，價格相差還是非常大的。