高週波淬火熱處理常見的缺陷有淬火裂痕、軟點及剝離三項。高週波淬火最忌諱加熱不均勻而產生局部區(qū)域的過熱現(xiàn)象，諸如工件銳角部位、鍵槽部位、孔之周圍等均十分容易引起過熱，而導致淬火裂痕的發(fā)生，上述情形可藉由填充銅片加以降低淬火裂痕發(fā)生的可能性。另外高週波淬火工件在淬火過程不均勻，會引起工件表面硬度低的缺點，稱之為軟點，此現(xiàn)象係由於高週波淬火溫度不均勻、噴水孔阻塞或孔的大小與數(shù)目不當所致。第三種會產生的缺失是表面剝離現(xiàn)象，主要原因為截面的硬度變化量大或硬化層太淺，因此常用熱處理爐預熱的方式來加深硬化層，可有效防止剝離現(xiàn)象。
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